電容式傳感器的工作原理是以平板電容器為例來說明電容式傳感器的工作原理。忽略電容器邊緣效應，平板電容器其電容量為式中的C為電容量;S為極板以面積;D為極板間的距離;E為極板間介質的介電常數，ER為極板間介質的相對介電常數。

　　電容值C都會隨之變化，從而可使其測量電路的輸出電壓或輸出電流發生相應的變化，這就是電容式傳感器的工作原理。

　　它與光電開關傳感器相比是有很大差異性的，在電容式傳感器視為理想狀態下的純電容得到的，所以其工作環境不適用于高溫、高濕條件，而且電容有電感效應，所以一般適用于低頻工作環境，所以式在大多數使用情況下是允許的。