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如果僅以光柵的柵距作其分辨單位，只能讀到整數(shù)莫爾條紋，倘若要讀出位移為0.1um，勢必要求每毫米刻線一萬條，這是目前工藝水平無法實現(xiàn)的。因此，只能在合適的光柵柵距的基礎上，對柵距進一步細分，才能獲得更高的測量精度。常用的細分方法有倍頻細分法和電橋細分法等。在一個莫爾條紋寬度上并列放置四個光電元個把，得到相位分別相差和四個正弦周期信號。選擇適當電路處理這一列信號，使其合并得到的脈沖涼信號，每個脈沖分別和四個周期信號的零點相對應，則電脈沖涼的周期為1/4個莫爾條紋寬度。用計數(shù)器對這一列脈沖涼信號計數(shù)，就可以讀取到1/4個莫爾條紋寬度的位移量。這樣得到的分辨率，將是光柵固有的分辨率的四倍。此方法稱為四倍頻細分法。光電開關的若再增加光敏元件，同理可以進一步進提高測量分辨率。 細分電路以移動過的莫爾條紋數(shù)量來確定位移量，能測量的最小位移量就是光柵柵距。光電開關的光柵傳感器為了提高分辨率，以測量小于柵距的位移量，應采用細分技術。光柵信號細分技術主要有光學細分、電子細分和微機軟件細分等方式，細分與未細分的比較由于結構復雜、調式困難、成本高等原因，已很少使用。而電子細分的原理是在莫爾條紋信號變化一個周期內，發(fā)出若干個脈沖，以減小脈沖當量。如一個周期內發(fā)出n個脈沖，就可使為原來的n倍，每個脈沖涼當量相當于原來柵距的1/n。由于細分后計數(shù)脈沖頻率為原來的n倍，所以也稱為n倍頻。 電子細分不可能得到高的細分數(shù)，且細分數(shù)是固定的，所以現(xiàn)在大多數(shù)光柵數(shù)顯表都采用了微機軟件細分法。 光柵信號的計算機軟件細分技術是目前應用較為廣泛、也比較我成熟的細分技術。 軟件細分法一般是：將兩個相差的信號通過轉換輸入微機，再利用一定的算法計算出莫爾信號的相位，即可推算出此時莫爾條紋的內的位置點，得到小于柵距的細分值，又稱小數(shù)。 通過分辨向電路輸出的為大數(shù)脈沖，脈沖頻率對應于莫爾條紋變化頻率，脈沖當量為光柵柵距值。 經(jīng)過大小靈敏合并處理后，再由微機進行數(shù)值班計算和碼制轉換等處理，即可得到測量值。采用微機軟件細分方法，不但可以得到高細分數(shù)，而且可以通過編程改變細分數(shù)，結構簡單、成本低、可靠性高，非常適用于智能檢測與控制等系統(tǒng)。 |
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